Handbook of contamination control in microelectronics : principles, applications, and technology

• 作者： Tolliver, Donald L
• 其他題名：
  • Materials science and process technology series
• 出版： Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications
• 叢書名： Materials science and process technology series
• 主題： Integrated circuits--Design and construction , Contamination (Technology)
• ISBN： 0815511515 :
• 資料類型: 圖書
• 內容註: Includes bibliographies and index
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