3D IC關鍵製程設備技術發展趨勢之研究 Research on the technological developing trends of 3D IC key equipment / [電子資源] =

• 作者： 陳慧娟
• 其他作者：
  • 華藝數位股份有限公司
• 其他題名：
  • Research on the technological developing trends of 3D IC key equipment
  • 經濟部技術處產業技術知識服務計畫
• 出版： 高雄市 : 金屬中心
• 版本：初版
• 叢書名： 經濟部技術處產業技術知識服務計畫
• 主題： 半導體工業 , 技術發展 , 市場分析
• ISBN： 9789865662141 (電子資源): NT$3000
• FIND@SFXID: CGU
• 資料類型: 電子書
• 內容註: 參考書目: 面117 檢索形式:電子書服務平台
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