溶凝膠靶材製備條件對RF-磁控濺鍍法鍍製ITO薄膜性質影響之探討 = Effect of Target Preparation Conditions on the Characteristics of RF-Sputtered Indium Tin Thin Films

• 作者： 著 李秀春
• 其他作者：
  • 盧信冲 指導
  • Lee, Hsiu Chun
  • Lu, H. C. (Hsin Chun)
• 出版： 桃園縣 : 長庚大學
• 版本：初版
• 主題： 溶膠-凝膠 , ITO , 濺鍍 , 薄膜 , Sol-gel , Sputtering , Thin film
• 資料類型: 博碩士論文
• 內容註: 碩士論文-- 長庚大學化工與材料工程研究所 含參考書目 校內電子全文開放日期： 不公開 校外電子全文開放日期： 不公開 畢業學年度: 88 指導教授: 盧信沖
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