Integrated Chemical Microsensor Systems in CMOS Technology [electronic resource]

• 作者： Hierlemann, Andreas.
• 其他作者：
  • Baltes, H. Henry
  • Fujita, Hiroyuki.
  • Liepmann, Dorian.
  • SpringerLink (Online service)
• 出版： Berlin, Heidelberg : Springer-Verlag Berlin Heidelberg
• 叢書名： Microtechnology and MEMS
• 主題： Metal oxide semiconductors, Complementary , Microelectromechanical systems , Sensorimotor integration , Chemistry , Optical and Electronic Materials. , Nanotechnology , Surfaces and Interfaces, Thin Films. , Electronics and Microelectronics, Instrumentation. , Analytical Chemistry. , Measurement Science, Instrumentation.
• ISBN： 9783540273721 (electronic bk.) 、 9783540237822 (paper)
• FIND@SFXID: CGU
• 資料類型: 電子書
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