半導體製程概論

• 作者： 施敏, 原著
• 其他作者：
  • 梅 (May, Gary S.), 原著
  • 林鴻志, 譯著
• 其他題名：
  • Fundamentals of semiconductor fabrication
  • 教學NCTU
• 出版： 新竹市 : 交大出版社
• 版本：增訂版
• 叢書名： 教學NCTU
• 主題： 半導體 , 積體電路
• ISBN： 978-986-6301-89-6 (平裝): NT$600
• 資料類型: 圖書
• 內容註: 含參考書目及索引 附錄: 符號表等12種 譯自: Fundamentals of semiconductor fabrication
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