超低能量離子佈植的淺接面擴散模型 = Diffusion Modeling for Junction Formation by Ultra-Low Energy Implantation

• 作者： 著 姜伯青
• 其他作者：
  • 張睿達 指導
  • Chiang, P.C.
  • Chang, R. D.
• 出版： 桃園縣 : 長庚大學
• 版本：初版
• 主題： 超低能量離子佈植 , 擴散模型 , 硼 , 模擬 , 暫態加強式擴散 , Ultra-Low Energy Implantation , Diffusion Modeling , Boron , Simulation , TED
• 資料類型: 博碩士論文
• 內容註: 碩士論文-- 長庚大學電機工程學研究所 含參考書目 校內電子全文開放日期： 不公開 校外電子全文開放日期： 不公開 畢業學年度: 88 指導教授: 張睿達
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