氮植入矽基板的影響及成長氧化層的機制 = The oxidation mechanism and the effect of nitrogen implanted silicon substrate

• 作者： 著 俞建安
• 其他作者：
  • 林正平 指導
  • Yu, chien an
  • Lin, J. P.
• 出版： 桃園縣 : 長庚大學
• 版本：初版
• 主題： 硼穿透 , 系統晶片化 , 氧化機制 , boron penetration , system on a chip , oxidation mechanism
• 資料類型: 博碩士論文
• 內容註: 碩士論文-- 長庚大學電機工程學研究所 含參考書目 校內電子全文開放日期： 2005.01.01 校外電子全文開放日期： 不公開 國圖電子全文開放日期： 2005.01.01 畢業學年度: 88 指導教授: 林正平
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