CMOS cantilever sensor systems : atomic force microscopy and gas sensing applications

• 作者： Lange, D. 1970-
• 其他作者：
  • Brand, Oliver 1964-
  • Baltes, H. Henry
• 其他題名：
  • Microtechnology and MEMS
• 出版： Berlin ;New York : Springer
• 叢書名： Microtechnology and MEMS
• 主題： Microelectromechanical systems--Design and construction , Metal oxide semiconductors, Complementary--Design and construction , Levers--Design and construction , Atomic force microscopy--Equipment and supplies--Design and construction , Gas detectors--Design and construction
• ISBN： 3540431438 (hbk.): US$64.95
• 資料類型: 圖書
• 內容註: Includes bibliographical references (p. [131]-140) and index "With 85 figures"--Title
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