Precision nanometrology sensors and measuring systems for nanomanufacturing / [electronic resource] :

• 作者： Gao, Wei.
• 其他作者：
  • SpringerLink (Online service)
• 出版： London : Springer-Verlag London
• 叢書名： Springer series in advanced manufacturing
• 主題： Nanostructured materials--Measurement. , Manufacturing, Machines, Tools. , Control , Robotics, Mechatronics. , Nanotechnology , Measurement Science and Instrumentation. , Engineering
• ISBN： 9781849962544 (electronic bk.) 、 9781849962537 (paper)
• FIND@SFXID: CGU
• 資料類型: 電子書
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