Fundamental principles of engineering nanometrology [electronic resource]

• 作者： Leach, R. K.
• 其他題名：
  • Micro & nano technologies
• 出版： Oxford, OX : Elsevier, William Andrew
• 版本：2nd ed.
• 叢書名： Micro & nano technologies series
• 主題： Metrology. , Microtechnology. , Nanotechnology
• ISBN： 9781455777532 (electronic bk.)
• FIND@SFXID: CGU
• 資料類型: 電子書
• 內容註: Includes bibliographical references and index.
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