半導體製程概論

• 作者： 施敏 著
• 其他作者：
  • 梅 (May, Gary S.) 著
  • 林鴻志 翻譯
  • May, Gary S.
• 其他題名：
  • Fundamentals of semiconductor fabrication
• 出版： 新竹市 : 交大出版社
• 版本：初版
• 主題： 積體電路 , 半導體
• ISBN： 9868185742 (平裝): NT$720 、 9789868185746 (平裝): NT$720
• 資料類型: 圖書
• 內容註: 含參考書目及索引 附錄:符號表等12種 譯自:Fundamentals of semiconductor fabrication
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