Poly-SiGe for MEMS-above-CMOS sensors [electronic resource]

• 作者： Gonzalez Ruiz, Pilar.
• 其他作者：
  • De Meyer, Kristin.
  • Witvrouw, Ann.
  • SpringerLink (Online service)
• 其他題名：
  • Springer series in advanced microelectronics ;
• 出版： Dordrecht : Springer Netherlands :Imprint: Springer
• 叢書名： Springer series in advanced microelectronics ;v.44
• 主題： Microelectromechanical systems , Metal oxide semiconductors, Complementary , Polycrystals. , Physics , Electronic Circuits and Devices. , Circuits and Systems. , Optical and Electronic Materials. , Nanotechnology and Microengineering. , Characterization and Evaluation of Materials.
• ISBN： 9789400767997 (electronic bk.) 、 9789400767980 (paper)
• FIND@SFXID: CGU
• 資料類型: 電子書
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