微機電系統原理與應用 = Foundations of MEMS

• 作者： Liu, Chang 著
• 其他作者：
  • 李彥其 譯
  • 陳冠銘 譯
  • 謝佳旭 譯
• 其他題名：
  • Foundations of MEMS
• 出版： 臺北市 :臺北縣[新莊市] : 臺灣培生教育出版 ;高立圖書發行
• 版本：初版
• 主題： 電機工程
• ISBN： 9789864125432 (平裝): NT$780
• 資料類型: 圖書
• 內容註: 含參考書目及索引 附錄 : A. 材料特性 ; B. 橫樑與薄膜常用的公式 作者號取自譯者 譯自:Foundations of MEMS
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