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Handbook of sputter deposition technology : principles, technology, and applications
- 作者： Wasa, Kiyotaka.
- 其他作者：
- 出版： Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications
- 叢書名： Materials science and process technology series
- 主題： Cathode sputtering (Plating process) , Thin films
- ISBN： 9780815512806 (hbk) 、 0815512805 (hbk)
- 資料類型: 圖書
- 內容註: Includes bibliographical references and index.
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讀者標籤：
- 系統號： 005032997 | 機讀編目格式
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