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Fundamental principles of engineering nanometrology

  • 作者: Leach, R. K.
  • 出版: Oxford :Amsterdam : William Andrew ;Elsevier Science
  • 版本:1st ed.
  • 叢書名: Micro and nano technologies
  • 主題: Nanotechnology , Microtechnology. , Metrology.
  • ISBN: 9780080964546 (hbk.) 、 0080964540 (hbk.)
  • 資料類型: 圖書
  • 內容註: Includes bibliographical references and index.
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  • 系統號: 005071740 | 機讀編目格式
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