Micro-opto-electro-mechanical systems : 22-23 May 2000 : Glasgow, Scotland, United Kingdom

• 作者： Syms, R. R. A
• 其他題名：
  • Proceedings EurOpt series
• 出版： Bellingham, Wash. : SPIE
• 叢書名： Proceedings EurOpt series , SPIE proceedings series ;v. 4075
• 主題： Microelectromechanical systems , Optoelectronic devices , Microfabrication
• ISBN： 0819437123 (pbk.): US$65.00
• 資料類型: 圖書
• 內容註: Includes bibliographical references and index
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