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Design, test, integration, and packaging of MEMS/MOEMS : 9-11 May 2000, Paris, France
- 其他作者：
- 其他題名：
- Design, test, integration, and packaging of MEMS and MOEMS
- 出版： Bellingham, Wash : SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 叢書名： SPIE proceedings series ;v. 4019
- 主題： Microelectromechanical systems , Optoelectronic devices , Micromachining , Microelectronic packaging
- ISBN： 0819436453 (pbk.): US$115.00
- 資料類型: 圖書
- 內容註: Includes author index
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讀者標籤：
- 系統號： 005232031 | 機讀編目格式
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