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Silicon micromachining
- 作者: Elwenspoek, M. (Miko), 1948-
- 其他作者:
- 出版: Cambridge, U.K. ;New York : Cambridge University Press
- 版本:1st pbk. ed.
- 叢書名: Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering7
- 主題: Silicon , Micromachining , Etching.
- ISBN: 0521607671 (pbk) 、 9780521607674 (pbk)
- 資料類型: 圖書
- 內容註: Includes bibliographical references and index. "First published 1998"--T.p. verso.
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讀者標籤:
- 系統號: 005030962 | 機讀編目格式