Rapid thermal and related processing techniques : 2-3 October 1990, Santa Clara, California

• 作者： Singh, Rajendra 1946-
• 其他作者：
  • Moslehi, Mehrdad M
• 出版： Bellingham, Wash., USA : SPIE
• 主題： Semiconductors--Heat treatment--Congresses , Vapor-plating--Congresses
• ISBN： 0819404624 (pbk.): US$68.00
• 資料類型: 圖書
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