Design and manufacturing of active microsystems [electronic resource]

• 其他作者：
  • Buttgenbach, Stephanus.
  • Burisch, Arne.
  • Hesselbach, Jurgen.
  • SpringerLink (Online service)
• 出版： Berlin, Heidelberg : Springer-Verlag Berlin Heidelberg
• 叢書名： Microtechnology and MEMS
• 主題： Microtechnology. , Engineering , Nanotechnology and Microengineering. , Mechatronics , Operating Procedures, Materials Treatment. , Nanotechnology
• ISBN： 9783642129032 (electronic bk.) 、 9783642129025 (paper)
• FIND@SFXID: CGU
• 資料類型: 電子書
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