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Mechanical microsensors
- 作者： Elwenspoek, M 1948-
- 其他作者：
- 其他題名：
- Microtechnology and MEMS
- 出版： New York : Springer
- 叢書名： Microtechnology and MEMS
- 主題： Detectors--Design and construction , Microelectromechanical systems--Design and construction , Transducers , Silicon , Micromachining
- ISBN： 3540675825 (hbk.): US$64.95
- 資料類型: 圖書
- 內容註: Includes bibliographical references and index
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讀者標籤：
- 系統號： 005228623 | 機讀編目格式
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