Thin film materials technology sputtering of compound materials / [electronic resource] :

• 作者： Wasa, Kiyotaka.
• 其他作者：
  • Kitabatake, Makoto.
  • Adachi, Hideaki.
• 出版： Norwich, NY :Heidelberg : William Andrew Pub. ;Springer
• 主題： Cathode sputtering (Plating process) , Thin films
• ISBN： 9780815514831 (electronic bk.) 、 9780815514831
• FIND@SFXID: CGU
• 資料類型: 電子書
• 內容註: Includes bibliographical references and index.
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