低壓化學氣相沉積爐管之控壓系統實務改善 = Practical Improvement of the Pressure Control System for the LPCVD Furnace

• 作者： 著 陳怡全
• 其他作者：
  • 王國彬 指導
  • Chen, Yi Chuan
  • Wang, G. B.
• 出版： 桃園縣 : 長庚大學
• 版本：初版
• 主題： 化學氣相沉積 , 控壓系統 , LPCVD Furnace , Pressure Control System
• 資料類型: 博碩士論文
• 內容註: 碩士論文-- 長庚大學化工與材料工程學系 含參考書目 校內電子全文開放日期： 2014.8.11 校外電子全文開放日期： 不公開 國圖電子全文開放日期： 不公開 畢業學年度: 101 指導教授: 王國彬
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