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MEMS and NEMS : systems, devices, and structures
- 作者： Lyshevski, Sergey Edward.
- 其他題名：
- Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
- 出版： Boca Raton, Fla. : CRC Press
- 叢書名： Nano- and microscience, engineering, technology, and medicine series
- 主題： Microelectromechanical systems
- ISBN： 0849312620 (hbk.): US$99.95
- 資料類型: 圖書
- 內容註: Includes bibliographical references and index
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讀者標籤：
- 系統號： 005246705 | 機讀編目格式
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