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Micromachines as tools for nanotechnology
- 作者： Fujita, Hiroyuki 1952-
- 其他題名：
- Microtechnology and MEMS
- 出版： Berlin ;New York : Springer
- 叢書名： Microtechnology and MEMS
- 主題： Nanotechnology , Microelectromechanical systems
- ISBN： 354000856X (hbk.): US$99.00
- 資料類型: 圖書
- 內容註: Includes bibliographical references
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讀者標籤：
- 系統號： 005247702 | 機讀編目格式
館藏資訊
