Micromachines as tools for nanotechnology

• 作者： Fujita, Hiroyuki 1952-
• 其他題名：
  • Microtechnology and MEMS
• 出版： Berlin ;New York : Springer
• 叢書名： Microtechnology and MEMS
• 主題： Nanotechnology , Microelectromechanical systems
• ISBN： 354000856X (hbk.): US$99.00
• 資料類型: 圖書
• 內容註: Includes bibliographical references
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