Design, test, and microfabrication of MEMS and MOEMS : 30 March-1 April 1999, Paris, France

• 作者： Bourtois, Bernard
• 出版： Bellingham, Wash., USA : SPIE
• 叢書名： SPIE proceedings series ;v. 3680
• 主題： Microelectromechanical systems
• ISBN： 0819431540 (set : pbk.): US$179.00
• 資料類型: 圖書
• 內容註: Includes bibliographical references and index
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