Microlithography science and technology / [electronic resource] :

• 其他作者：
  • Suzuki, Kazuaki.
  • Smith, Bruce W., 1959-
  • MyiLibrary.
• 其他題名：
  • Optical science and engineering (Boca Raton, Fla.) ;
• 出版： Boca Raton : CRC Press
• 版本：2nd ed.
• 叢書名： Optical science and engineering ;126
• 主題： Microlithography--Industrial applications , Integrated circuits--Masks , Metal oxide semiconductors, Complementary--Design and construction , Manufacturing processes , Electronic books.
• ISBN： 9786610809639 、 0824790243 (Cloth)
• FIND@SFXID: CGU
• 資料類型: 電子書
• 內容註: Includes bibliographical references and index. Title from e-book title screen (viewed October 15, 2007).
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