Plasma processes for semiconductor fabrication

• 作者： Hitchon, W. Nicholas G.
• 出版： Cambridge ;New York : Cambridge University Press
• 叢書名： Cambridge studies in semiconductor physics and microelectronic engineering8
• 主題： Semiconductors--Etching , Plasma etching
• ISBN： 9780521591751 (hbk): US$85.00 、 0521591759 (hbk): US$85.00 、 9780521018005 (pbk) 、 0521018005 (pbk)
• 資料類型: 圖書
• 內容註: Includes bibliographical references (p. 205-211) and index.
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