Metallization : performance and reliability issues for VLSI and ULSI ; 12-13 September 1991, San Jose, California

• 作者： Gildenblat, Gennady Sh
• 其他作者：
  • Schwartz, Gary P
  • Society of Photo-optical Instrumentation Engineers
• 其他題名：
  • Proceedings / SPIE--the International Society for Optical Engineering ;
• 出版： Bellingham, Wash. : SPIE
• 叢書名： Proceedings / SPIE--the International Society for Optical Engineering ;v. 1596
• 主題： Integrated circuits--Very large scale integration--Reliability--Congresses , Metallic films--Congresses , Vapor-plating--Congresses
• ISBN： 0819407275 (pbk.): US$59.00
• 資料類型: 圖書
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