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Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications
- 作者： Glendinning, William B
- 其他作者：
- 其他題名：
- Materials science and process technology series
- 出版： Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications
- 叢書名： Materials science and process technology series
- 主題： Integrated circuits--Very large scale integration , Microlithography
- ISBN： 0815512813 :: US$105.00
- 資料類型: 圖書
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讀者標籤：
- 系統號： 005146029 | 機讀編目格式
館藏資訊
