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Chemical vapor deposition of tungsten and tungsten silicides for VLSI/ULSI applications
- 作者： Schmitz, John E. J
- 其他題名：
- Materials science and process technology series
- 出版： Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications
- 叢書名： Materials science and process technology series
- 主題： Integrated circuits--Very large scale integration--Materials , Tungsten , Vapor-plating
- ISBN： 0815512880 :: US$52.00
- 資料類型: 圖書
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讀者標籤：
- 系統號： 005146017 | 機讀編目格式
館藏資訊
