Surfaces, interfaces, and thin films for microelectronics

• 作者： Irene, Eugene A.
• 出版： Hoboken, N.J. : Wiley-Interscience
• 主題： Surface chemistry , Interfaces (Physical sciences) , Thin films , Microelectronics--Materials
• ISBN： 9780470174470 (hbk) 、 0470174471 (hbk)
• 資料類型: 圖書
• 內容註: Includes bibliographical references and index.
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