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Metal impurities in silicon-device fabrication
- 作者： Graff, Klaus 1931-
- 出版： Berlin ;New York : Springer
- 版本：2nd, rev. ed
- 叢書名： Springer series in materials science ;24
- 主題： Semiconductors--Defects , Silicon--Inclusions , Silicon--Defects , Contamination (Technology)
- ISBN： 3540642137 (hbk.): US$78.83 、 3540583173
- 資料類型: 圖書
- 內容註: Includes bibliographical references and index
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讀者標籤：
- 系統號： 005223977 | 機讀編目格式
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