Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions

• 作者： Rossnagel, Stephen M.
• 其他作者：
  • Cuomo, J. J
  • Westwood, William D 1937- William Dickson
• 其他題名：
  • Materials science and process technology series
• 出版： Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications
• 叢書名： Materials science and process technology series
• 主題： Plasma engineering
• ISBN： 0815512201 :: US$94.60
• 資料類型: 圖書
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