電漿浸入式離子佈值的前處理應用在矽晶圓上介電層的研究 = The dielectric research of Plasma Immersion Ion Implantation (PIII) pretreatment apply on silicon wafer

• 作者： 著 羅振宇 (民95電子工程學研究所)
• 其他作者：
  • 賴朝松 指導
  • Lai, C. S.
• 出版： 桃園縣 : 長庚大學
• 版本：初版
• 資料類型: 博碩士論文
• 內容註: 碩士論文-- 長庚大學電子工程學研究所 含參考書目 校內電子全文開放日期： 2009/1/1 校外電子全文開放日期： 不公開 畢業學年度: 95 指導教授: 賴朝松
• More
• URL： 電子書
  
• 讀者標籤：

  需登入
• 引用連結：

  Copy Link
• 目前引用數
• Share: