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位元線輪廓製程改善之研究 = Study of Bit Line Profile Improvement

  • 作者: 王鵬勝 著
  • 其他作者:
  • 出版: 桃園市 : 長庚大學
  • 版本:初版
  • 主題: 位元線 , 輪廓 , 蝕刻 , 選擇比 , 電漿 , bitline , profile , etch , Selectivity , Plasma
  • 資料類型: 博碩士論文
  • 內容註: 碩士論文-- 長庚大學電子工程學系 含參考書目 校內電子全文開放日期: 2025/07/30 校外電子全文開放日期: 不公開 國圖電子全文開放日期: 不公開 畢業學年度: 108 指導教授: 吳國梅
  • URL: 電子書
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  • 系統號: 005473175 | 機讀編目格式
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