Laser precision microfabrication [electronic resource]

• 其他作者：
  • Sugioka, Koji.
  • Meunier, Michel.
  • Pique, Alberto.
  • SpringerLink (Online service)
• 出版： Berlin, Heidelberg : Springer-Verlag Berlin Heidelberg
• 叢書名： Springer series in materials science135
• 主題： Lasers--Industrial applications , Microfabrication , Physics , Laser Technology, Photonics. , Nanotechnology
• ISBN： 9783642105234 (electronic bk.) 、 9783642105227 (paper)
• FIND@SFXID: CGU
• 資料類型: 電子書
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