Chemical vapor deposition for microelectronics : principles, technology, and applications

• 作者： Sherman, Arthur
• 其他題名：
  • Materials science and process technology series
• 出版： Park Ridge, N.J., U.S.A. : Noyes Publications
• 叢書名： Materials science and process technology series
• 主題： Vapor-plating , Integrated circuits--Design and construction
• ISBN： 0815511361 :
• 資料類型: 圖書
• 內容註: Includes bibliographies and index
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